專利公告 Patents
高深寬比微結構光學量測系統之複合散射光學量測系統
刊登日期：2025/08/11
| ‧ 專利名稱 | 高深寬比微結構之複合散射光學量測系統 |
| ‧ 專利證書號 | I894016 |
| ‧ 專利權人 | 國立臺灣大學 |
| ‧ 專利國家 (申請日) |
中華民國 (2024/10/16) |
| ‧ 單位 | 機械工程學系 |
| ‧ 發明人 / PI | 陳亮嘉,傅子英, |
| ‧ 簡歷 / Experience |
技術摘要 / Our Technology：
本案提供一種高深寬比微結構光學量測系統之複合散射光學量測系統，包括光源模組、第一物鏡、背焦調整模組、空間濾波模組、第一影像擷取裝置、光譜儀及訊號處理裝置。
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