專利公告 Patents
量測關鍵尺寸的光學量測系統與方法
刊登日期：2025/09/21
| ‧ 專利名稱 | 量測關鍵尺寸的光學量測系統與方法 |
| ‧ 專利證書號 | I898876 |
| ‧ 專利權人 | 國立臺灣大學 |
| ‧ 專利國家 (申請日) |
中華民國 (2024/10/16) |
| ‧ 單位 | 機械工程學系 |
| ‧ 發明人 / PI | 陳亮嘉,楊福生, |
| ‧ 簡歷 / Experience |
技術摘要 / Our Technology：
本案提供一種量測關鍵尺寸的光學量測系統與方法，利用寬頻光源對於高深寬比微結構進行照明，取得角度、光譜資訊，同步形成背焦影像，進而提高橫向關鍵尺寸的精準度。
聯繫方式 / Contact：
臺大產學合作總中心 / Center of Industry-Academia Collaboration, NTU
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