光學顯微鏡輔助之原子力顯微鏡精密正弦式局部掃瞄
刊登日期:2015/06/01
  ‧ 專利名稱 原子力顯微鏡系統及其決定邊界點的掃描方法、掃描樣本的方法
  ‧ 專利證書號 I519791
  ‧ 專利權人 臺大
  ‧ 專利國家
    (申請日)
中華民國 (2013/11/25)
 
  ‧ 發明人/PI 傅立成,吳俊緯,陳志烈,林奕廷,
  ‧ 單位 電機工程學系
  ‧ 簡歷/Experience
技術摘要 / Our Technology:
一種掃描一樣本的方法,該方法包含下列步驟:以一第一弦波軌跡掃描該樣本之一第一區域。自該第一弦波軌跡掃描該第一區域之一實際路徑與該樣本之關係,而獲得一第一區域參數。以該第一區域參數預測掃描該樣本之一第二區域之一第二弦波軌跡。以該第二弦波軌跡掃描該第二區域。



專利簡述 / Intellectual Properties:




 

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