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奈米碳管叢應變感測元件及其製作方法

‧ 專利名稱
‧ 專利證書號
‧ 專利權人	國立臺灣大學
‧ 專利國家 (申請日)	中華民國 (2012/07/10)

‧ 發明人/PI	張所鋐,蘇志中,
‧ 單位	機械工程學系
‧ 簡歷/Experience

技術摘要 / Our Technology：

一種應變式感測元件，包含了下列的元件：基板；同方向性排列規則奈米碳管叢，設置在基板上；以及第一電極第二電極，分別設置在同方向性排列規則奈米碳管叢之上，且彼此電性分離。一種製作應變式感測元件的方法，包括：提供基板；形成同方向性排列規則奈米碳管叢；形成第一電極在同方向性排列規則奈米碳管叢之上；以及形成第二電極在同方向性排列規則奈米碳管叢之上，且與第一電極以一間隔距離設置。

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臺大產學合作總中心 / Center of Industry-Academia Collaboration, NTU

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