奈米碳管叢應變感測元件及其製作方法
刊登日期:2014/05/21
  ‧ 專利名稱 奈米碳管叢應變感測元件及其製作方法
  ‧ 公開號 201403024
  ‧ 專利權人 國立臺灣大學
  ‧ 專利國家
    (申請日)
中華民國 (2012/07/10)
 
  ‧ 發明人/PI 張所鋐,蘇志中,
  ‧ 單位 機械工程學系
  ‧ 簡歷/Experience
技術摘要 / Our Technology:
一種應變式感測元件,包含了下列的元件:基板;同方向性排列規則奈米碳管叢,設置在基板上;以及第一電極第二電極,分別設置在同方向性排列規則奈米碳管叢之上,且彼此電性分離。一種製作應變式感測元件的方法,包括:提供基板;形成同方向性排列規則奈米碳管叢;形成第一電極在同方向性排列規則奈米碳管叢之上;以及形成第二電極在同方向性排列規則奈米碳管叢之上,且與第一電極以一間隔距離設置。



專利簡述 / Intellectual Properties:




 

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