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Single-crystal ALD-Y2O3 on GaAs(001)-4x6

刊登日期：2017/11/30

‧ 專利名稱	Single-crystal ALD-Y2O3 on GaAs(001)-4x6
‧ 專利證書號	10,283,349 B2
‧ 專利權人	國立臺灣大學
‧ 專利國家 (申請日)	美國 (2016/05/27)
‧ 發明人	陳冠雄, 洪銘輝, 郭瑞年, 林延勳 , 吳紹筠,

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