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 壓力感測薄膜結構裝置及其方法
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刊登日期：2016/08/21 |
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| ‧ 專利名稱 |
壓力感測薄膜、結構、裝置及其製造方法 |
| ‧ 專利證書號 |
I546527
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| ‧ 專利權人 |
國立臺灣大學 |
‧ 專利國家
(申請日) |
中華民國 (2015/07/17)
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| ‧ 發明人/PI |
楊燿州
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| ‧ 單位 |
機械工程學系
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| ‧ 簡歷/Experience |
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| 技術摘要 / Our Technology： |
一種製造壓力感測薄膜結構之方法，係包括：提供一表面具有複數個孔洞之濾膜層；形成圖案化之阻層於該濾膜層上，其中，該阻層具有複數個凹槽，且該複數個凹槽係貫穿該阻層以外露該濾膜層；於外露於該複數個凹槽內的該濾膜層上形成導電層，以使該導電層與該濾膜層接觸之介面形成有對應該濾膜層之複數個孔洞的微結構；以及移除該阻層與該濾膜層。本發明藉由濾膜層的設置，以得到具有微結構表面的壓力感測薄膜，並且具有減少製造壓力感測薄膜的時間及成本，以提升產品競爭力之功效。
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| 專利簡述 / Intellectual Properties： |
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聯繫方式 / Contact： |
| 臺大產學合作總中心 / Center of Industry-Academia Collaboration, NTU |
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| Email：ordiac@ntu.edu.tw |
電話/Tel：02-3366-9945 |
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