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 化學工程學系 -
徐振哲
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專業技術：
電漿科學與應用 |
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◎研究主題 |
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電漿科學與應用
本研究室的研究著眼於低溫電漿在基礎科學與應用方面的研究。低壓電漿在半導體業，光電業，LCD面板製造業等多種工業上被廣泛地應用，包含蝕刻，薄膜製備，表面改質與污染物處理等。我們目前的研究工作著重於以下三部份：
1.電漿製程技術
2.薄膜與奈米材料製備技術
3.電漿數值模擬
在基礎研究方面，我們以實驗與數值模擬之方式研究電漿化學、電漿物理以及電漿與表面之交互作用。在應用領域方面，我們以電漿從事材料製程與表面改質等工作，進而探討電漿對整個製程與材料特性的影響。藉由基礎與應用方面研究的整合，我們將探討電漿製程於工程應用上與基礎科學相關的若干課題。
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◎
最新研究 |
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1.大氣電漿的檢測與數值模擬及其在奈米粉體製程上的應用 (Diagnostic Study and Numerical Simulation of Atmospheric Pressure Plasmas and the Applications to Nanoparticle Fabrication) 國科會NT 1,066,000, 08/01/2009-07/31/2010
2.常壓中空陰極電極特性模擬研究(Simulation of Atmospheric Pressure Hollow Cathode Plasmas) 行政院原委會核研所 NT 500,000, 04/01/2009~12/31/2009 |
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| 專利授權區 |
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可攜式重金屬檢測裝置
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一種檢測裝置用以與行動電子裝置協作，行動電子裝置具有影像擮取單元。檢測裝置包含電漿產生單元與分光單...... more
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電漿產生裝置
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本發明提供一種電漿產生裝置，其包含一高電壓驅動組件、一絕緣基板，以及二電極單元。本發明另提供一種電...... more
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表面處理裝置及方法
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本發明係關於一種透過電漿以進行表面處理的裝置與方法。本發明利用細長及/或可撓之電極產生電漿，以對各...... more
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| 可交易技術 |
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