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(3)
電漿產生裝置
刊登日期:2016/08/01
‧ 專利名稱
一種電漿產生裝置與其製備方法
‧ 專利證書號
I569690
‧ 專利權人
國立臺灣大學
‧ 專利國家
(申請日)
中華民國 (2015/01/23)
美國 (2015/07/23)
‧ 發明人
徐振哲
, 楊曜禎, 高鵬凱, 林子軒, 王誌君,
技術摘要:
本發明提供一種電漿產生裝置,其包含一高電壓驅動組件、一絕緣基板,以及二電極單元。本發明另提供一種電漿產生裝置的製備方法,其包含以下步驟:準備一絕緣基板,該絕緣基板具有一第一表面以及一第二表面;分別設置一電極單元於該第一表面與該第二表面上;以及準備一高電壓驅動組件,並與該兩電極單元電性連接,藉以形成一電漿產生裝置。相較於習知技術,本發明得以利用相對簡單的製程,無需使用精密設備或工具機來製備電漿產生裝置,具有製程簡易,降低成本之功效。
聯繫方式
聯絡人: 研發處產學合作總中心
電話: (02)3366-9949
地 址: 10617臺北市大安區羅斯福路四段1號 禮賢樓六樓608室