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 synthesis of large area 2Dmaterial on dielectric films by low temperature MW-PECVD
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刊登日期：2023/08/11 |
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| ‧ 專利名稱 |
synthesis of large area 2Dmaterial on dielectric films by low temperature MW-PECVD |
| ‧ 專利證書號 |
I812096
12,062,540
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| ‧ 專利權人 |
國立臺灣大學 |
‧ 專利國家
(申請日) |
美國 (2022/01/25)
中華民國 (2022/03/22)
中國 (2022/04/19)
美國 (2024/06/28)
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| ‧ 發明人/PI |
吳志毅
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| ‧ 單位 |
台積電-臺灣大學聯合研發中心
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| ‧ 簡歷/Experience |
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| 技術摘要 / Our Technology： |
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| 專利簡述 / Intellectual Properties： |
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聯繫方式 / Contact： |
| 臺大產學合作總中心 / Center of Industry-Academia Collaboration, NTU |
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| Email：ordiac@ntu.edu.tw |
電話/Tel：02-3366-9945 |
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