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光學系統及使用該系統之物體表面或內部光反射介面三維形貌偵測方法

刊登日期：2018/01/01

‧ 專利名稱	物體表面或內部光反射介面三維形貌偵測光學系統與方法
‧ 專利證書號	I636231
‧ 專利權人	國立臺灣大學
‧ 專利國家 (申請日)	中華民國 (2016/06/27) 中國 (2016/10/08)
‧ 發明人	陳亮嘉, 阮忠德,

技術摘要：

晶圓量測

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