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[專利]
具有濃度變化的三維超接面功率半導體
中華民國 (2021/05/14),
創作人: 李坤彥, 鄒振東, 賴云凱,
檢視摘要
一種具有濃度變化的三維超接面功率半導體,包含半導體基板,及多個相鄰地設置在半導體基板上的電晶體單元。每一個該電晶體單元包括本體、閘極、二源極、二柱體單元,及電極層。本體包括設置在半導體基板上的第一磊晶層、第二磊晶層,及頂面,第一磊晶層與第二磊晶層具有第一型半...