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 磁性薄膜的製造方法及具有磁性薄膜的記錄媒體
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刊登日期：2014/05/21 |
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| ‧ 專利名稱 |
磁性薄膜的製造方法及具有磁性薄膜的記錄媒體 |
| ‧ 專利證書號 |
I416551
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| ‧ 專利權人 |
國立臺灣大學 |
‧ 專利國家
(申請日) |
中華民國 (2009/02/05)
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| ‧ 發明人/PI |
郭博成,林哲平,方彥翔,張慶瑞 ,
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| ‧ 單位 |
物理學系
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| ‧ 簡歷/Experience |
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| 技術摘要 / Our Technology： |
本發明係提供一種製造具垂直磁異向性(FePt)1-y(Si3N4)y顆粒狀薄膜的方法，是以磁控濺鍍的方式於玻璃基板上以鐵Fe、鉑Pt及四氮化三矽Si3N4靶材進行共鍍，其中鐵Fe與鉑Pt元素是以直流控制器(dc)鍍製，四氮化三矽Si3N4元素是以交流控制器(rf)鍍製。藉由改變四氮化三矽Si3N4含量及退火時間，來獲得分佈均勻的FePt-Si3N4顆粒狀薄膜。
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| 專利簡述 / Intellectual Properties： |
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聯繫方式 / Contact： |
| 臺大產學合作總中心 / Center of Industry-Academia Collaboration, NTU |
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| Email：ordiac@ntu.edu.tw |
電話/Tel：02-3366-9945 |
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