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 粒子束狀態估測方法與裝置
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刊登日期：2014/05/21 |
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| ‧ 專利名稱 |
粒子束狀態改變之估測裝置及其方法 |
| ‧ 專利證書號 |
I441233
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| ‧ 專利權人 |
國立臺灣大學 |
‧ 專利國家
(申請日) |
美國 (2011/11/02)
中華民國 (2011/11/04)
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| ‧ 發明人/PI |
蔡坤諭,陳勝勇,
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| ‧ 單位 |
電機工程學系
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| ‧ 簡歷/Experience |
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| 技術摘要 / Our Technology： |
本發明揭露一種估測一或多道粒子束狀態改變之裝置，該裝置包含多個粒子感測器以及一估測單元，其中一或多道粒子束撞擊至一基板。粒子感測器偵測從該基板反彈之該一或多道粒子束，並對應產生一或多個感測器信號。估測單元根據該一或多個感測器信號執行一數值規劃方法，以估測該一或多道粒子束之狀態改變。透過這樣的排列和監測方法，該裝置可以估測粒子束之飄移。
This invention provides an apparatus for estimating change of status of a plurality of particle beams, the apparatus includes a plurality of particle detectors and an estimating unit, wherein the one or the plurality of particle beams is projected to a substrate. The particle detectors detect the one or the plurality of particle beams reflected from the substrate to generate one or a plurality of detector signals. The estimating unit estimates change of the status of the one or the plurality of particle beams by executing a mathematical programming method according to the one or the plurality of detector signals. By such arrangement and monitoring method, the apparatus could estimate the drift of beams.
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| 專利簡述 / Intellectual Properties： |
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聯繫方式 / Contact： |
| 臺大產學合作總中心 / Center of Industry-Academia Collaboration, NTU |
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| Email：ordiac@ntu.edu.tw |
電話/Tel：02-3366-9945 |
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