光學奈米標準尺規
刊登日期:2014/05/21
  ‧ 專利名稱 光學奈米標準尺規
  ‧ 專利證書號 I249040
  ‧ 專利權人 國立臺灣大學
  ‧ 專利國家
    (申請日)
中華民國 (2004/07/23)
 
  ‧ 發明人/PI 蔡定平 ,林金松 ,余政峰,傅源興,
  ‧ 單位 物理學系
  ‧ 簡歷/Experience
技術摘要 / Our Technology:
本發明係一種光學奈米標準尺規,係由度量衡以光作為標準單位及以近場光學干涉條紋為奈米尺度的標準尺規,提供一種光學奈米度量衡機制,可應用於校準近場掃描式光學顯微儀(Near-field Scanning Optical Microscope,NSOM)的掃描系統所引起的非線性響應誤差,調整掃描系統至最佳化的狀態,並可節省製作標準樣品的複雜過程,以及快速、簡單和有效執行奈米尺度的度量衡校準方法。




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