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光學顯微鏡輔助之原子力顯微鏡精密正弦式局部掃瞄

刊登日期：2015/06/01

‧ 專利名稱	原子力顯微鏡系統及其決定邊界點的掃描方法、掃描樣本的方法
‧ 專利證書號	I519791
‧ 專利權人	國立臺灣大學
‧ 專利國家 (申請日)	中華民國 (2013/11/25)
‧ 發明人	傅立成, 吳俊緯, 陳志烈, 林奕廷,

技術摘要：

一種掃描一樣本的方法，該方法包含下列步驟：以一第一弦波軌跡掃描該樣本之一第一區域。自該第一弦波軌跡掃描該第一區域之一實際路徑與該樣本之關係，而獲得一第一區域參數。以該第一區域參數預測掃描該樣本之一第二區域之一第二弦波軌跡。以該第二弦波軌跡掃描該第二區域。

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