材料科學與工程學系 - 陳敏璋

專業技術:
半導體電子與光電材料、奈米材料技術


研究介紹
  ◎研究及專業領域
  1.Atomic layer deposition
2.ZnO photonics
3.High-K/metal gate
4.Efficient Si light-emitting diodes
5.Nanoplasmonics and surface enhanced Raman scattering
   
   
專利授權區
Transfer-free, direct growth of graphene by atomic layer deposition on oxide surface


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High electron mobility transistors


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金屬通道電晶體Metallic transistors prepared by the atomic layer deposition and doping techniques


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Ferroelectric inductance


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前驅物循環式原子層沉積設備與方法


一種原子層沉積設備,包含一或多個內循環機構、一或多個待鍍物、一或多個進氣管線,以及一或多個氣體擾動...... more


Ferroelectoricity and antiferroelectoricity in oxide thin films


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ALD assisted non-resist charged particle beam patterning


提供一種製備一積體電路的製程。此製程包含提供一基板,並使用原子層沉積或分子層沉積以形成一硬罩幕於基板...... more


使用原子層沉積技術成長氧化鋅/氧化鋅鎂磊晶薄膜與量子井及其光學性質之研究


本發明揭露一種氧化鋅基半導體發光元件及其製造方法。根據本發明之製造方法,首先,係製備一基材。接著,藉...... more


Fabrication of tin structure based on ALD-assisted non-resist trench nanolithography


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III-V半導體鐵電異質結構


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化學氣相沉積系統與方法


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反鐵電電容(ANTIFERROELECTRIC CAPACITOR)


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Self-focused ion beam lithography using dielectric lens


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金氧半導體元件中矽半導體與閘極絕緣層介面品質檢測系統與方法


一種金氧半導體元件中矽半導體與閘極絕緣層介面品質的檢測方法,其係施加一電流經由閘極至一金氧半導體元件...... more


太陽能電池及其製造方法


一種太陽能電池的製造方法,包括以下步驟。首先,提供第一導電型的矽晶片,其中矽晶片具有彼此相對的第一表...... more


n-MOSFET低電壓操作的氮化鈦TiN金屬閘極(Modulation of the work function of TiN metal gate for n-type MOSFETs)


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Precise Digital Etching with High Conformity


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高效率矽發光二極體及其製造方法


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Ferroelectoricity in Nanoscale Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition


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可交易技術